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差分式电涡流传感器 SCE-2200

差分式电涡流传感器 SCE-2200

产品介绍

差分式电涡流传感器SCE-2200 可选单通道、双通道模拟量输出、数字量输出 应用领域: 快速转向镜(FSM) 望远镜和显微镜图像稳定 光电扫描仪图像稳定 角位移指示 精密定位平台(XY定位平台位置反馈) 生命科学(细胞操控、原子显微镜)

特点

应用领域:


快速转向镜(FSM

望远镜和显微镜图像稳定

光电扫描仪图像稳定

角位移指示

精密定位平台(XY定位平台位置反馈)

生命科学(细胞操控、原子显微镜)



规格参数

规格性能参数

参数

单位

注释

量程

±0.25, ±0.50, ±0.90

mm


零位间隙

0.4, 0.65, 1.0

mm


输出电压

±10

V


灵敏度

20

mV/μm

典型值

非线性度 

<0.5

%FSO


分辨率

(p-p@1kHz带宽)

零点

<0.004

%FSO


全量程

<0.015

%FSO


温漂

零点

<0.005

%FSO/°C


全量程

<0.02

%FSO/°C


功耗

<1

W

双通道

频率响应

20

kHz

默认

输入电压

±15

Volts

@53mA

输出阻抗

<1

Ohm


支持真空应用

10e-3

Pa


重量

传感器

227

g

4个探头加上线

信号控制器

170

g


工作

温度

信号控制器

-40°C+80°C


传感器

-40°C+80°C


存储

温度

信号控制器

-55°C+80°C


传感器

-55°C+80°C


FSO=Full scale output=2倍量程

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传感器探头

标准版本传感器探头S05,默认线长1.5m,带直出的MCX接头,通常有现货。

可选版本S0515, S0518, S0523L, S0514P默认线长0.5m,可根据客户要求进行定制。

接头默认为MCX直出,可选MCX 90度弯头,亦可定制其他接头,比如SMA连接器。

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信号控制器

标准版本控制器SCE-2200,如图5,是将电路板装到一个铝合金盒子里面,具有更好的抗干扰性,带有4个MCX连接器用于连接传感器探头,I/O是一个mini DB9连接器。



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                      图5, 控制器SCE-2200

其他可选控制器如下表

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订购示例:

SCE-2200 - S05x2-2500 L

1

 2  3

4 5

1 控制器型号,标准版SCE-2200;可选定制版如SCE-2201,SCE-2209,SCE-2206;

2 探头型号,标准版S05; 可选S0515,S0518,S0523L, S0514P;

3 探头数量,2表示2个探头,即单通道;4表示4探头,即双通道;

4 探头电缆长度,探头S05默认电缆长度1500mm,探头S0515,S0523L,S0510P,S0514P默认电缆长度500mm,不填表示默认电缆长度;其它长度需标明,如2500表示探头电缆长度2500mm。

5 接头形式,H或不填,默认直出连接器;L表示90度弯头连接器;

 

附录标定结果示例,下表所示,供参考

标定结果

序号

X通道位移(um)

X通道电压(V)

最小二乘法拟合(V)

非线性%FSO

1

-500.0

-10.0035

-9.841

-0.81%

2

-400.0

-7.7378

-7.858

0.60%

3

-300.0

-5.6964

-5.875

0.89%

4

-200.0

-3.8462

-3.892

0.23%

5

-100.0

-2.0022

-1.909

-0.47%

6

0

-0.0135

0.075

-0.44%

7

100.0

2.0588

2.058

0.00%

8

200.0

4.0451

4.041

0.02%

9

300.0

5.9598

6.024

-0.32%

10

400.0

7.9175

8.008

-0.45%

11

500.0

10.1405

9.991

0.75%

量程:

±0.5 mm



灵敏度:

19.83 mV/um


零位间隙:

0.65 mm



供电电压:

±15 V



被测目标:

铝合金 6061


测量仪器:

Keysight 34465A

Mitutoyo MDH-25MB


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