差分式电涡流传感器SCE-2200 可选单通道、双通道模拟量输出、数字量输出 应用领域： 快速转向镜（FSM） 望远镜和显微镜图像稳定 光电扫描仪图像稳定 角位移指示 精密定位平台(XY定位平台位置反馈) 生命科学(细胞操控、原子显微镜)
可选单通道、双通道模拟量输出、数字量输出
应用领域：
v 快速转向镜（FSM）
v 望远镜和显微镜图像稳定
v 光电扫描仪图像稳定
v 角位移指示
v 精密定位平台(XY定位平台位置反馈)
v 生命科学(细胞操控、原子显微镜)
规格性能参数
参数
值
单位
注释
量程
±0.25, ±0.50, ±0.90
mm
零位间隙
0.4, 0.65, 1.0
输出电压
±10
V
灵敏度
20
mV/μm
典型值
非线性度
<0.5
%FSO
分辨率
(p-p@1kHz带宽)
零点
<0.004
全量程
<0.015
温漂
<0.005
%FSO/°C
<0.02
功耗
<1
W
双通道
频率响应
kHz
默认
输入电压
±15
Volts
@53mA
输出阻抗
Ohm
支持真空应用
10e-3
Pa
重量
传感器
227
g
4个探头加上线
信号控制器
170
工作
温度
-40°C至+80°C
存储
-55°C至+80°C
FSO=Full scale output=2倍量程
